掩模传输系统四象限对准装置----中国科学院自动化研究所

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科研成果

专利名称:	掩模传输系统四象限对准装置
专利类别:	发明专利
申请号:	200510105260.6
申请日期:	2005.09.28
专利号:	ZL200510105260.6
第一发明人:	谭民
其它发明人:	徐德, 王秀青, 赵晓光, 刘云, 汪建华
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:	ZL200510105260.6
专利摘要:
其它备注: