悬臂支撑快速自开合屏蔽罩振动补偿系统及方法----中国科学院自动化研究所

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科研成果

专利名称:	悬臂支撑快速自开合屏蔽罩振动补偿系统及方法
专利类别:	发明专利
申请号:	201310104939.8
申请日期:	2013-3-28
专利号:	ZL201310104939.8
第一发明人:	刘衍
其它发明人:	王学伟，刘芳芳，吴保林，徐德
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
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专利摘要:
其它备注: